严辉点了点头,带着研究员们调配好抛光液,然后重新进行了一次实验。
“平整度5.9nm RMS。”
看到这个结果,原本还有点小期待的严辉,不由露出一抹失望的神色。
但康驰却依然不为所动,又报出了一组抛光液配比,让他们重新进行第三次实验。
“平整度5.9nm RMS。”
5.9?
还是5.9?!
是巧合吗?
虽然5.9显然是远远不达标的,但严辉却似乎意识到了什么,有些惊讶地转头看向康驰。
“你……计算好的?”
“算是吧。”
康驰点了点头。
这下严辉彻底呆住了,
要知道,化学机械抛光的技术难点,除了抛光设备的硬件要达标之外,还要根据设备性能、硅片参数,来调配化学抛光液,以达到化学抛光和机械抛光的完美配合。
要想调试得好,首先就需要对设备了如指掌,其次这是丰富的抛光液调配经验。
但康驰仅仅只是通过一次实验演示,就能看似轻松地报出两组不同成分的抛光液,并在后续的实验中,达到同一数值的平整度……
这多少有点匪夷所思了吧?
哪怕是已经参与过无数次测试的严辉,在没有经过计算机模拟的情况下,也绝对做不到如此精准的控制,
估计误差至少得有个0.3nm RMS。
他有些难以置信地问道:“你到底是怎么做到的?”
“嗯,我也说不上来……可能是某种直觉吧,我这人对机械的东西,敏感度还挺高的。”
康驰思索了片刻,又接着说道,
“我估计伱这台抛光机,能稳定发挥的正常水平,应该就是3.0nm RMS左右,2.6nm RMS只是你们因为偶然因素才意外达到的,肯定不会超过三次。”
严辉再次愣了愣,显然是被康驰猜中了。
“确实,只有一次……”
康驰本来还想说点什么,结果肚子都已经饿得咕咕叫了,
看了看时间,发现三轮实验过后,竟然已经不知不觉都到了晚上八点。
“不好意思,一个没注意都这这么晚了……大家赶紧收拾收拾,先去吃饭吧,今天辛苦你们了。”
“嗯。”严辉点了点头道,“那大家吃完饭,九点再回来继续。”
本章未完,请点击下一页继续阅读!