也忍不住立刻回到办公室,好奇地打开里面的图纸,想看看康驰所谓的改良方案是真是假。
打开第一张整体结构图,何永一眼就看出,这和他们原本的设计有很大的区别。
所以,他真对设计图进行了改良?
而从消化图纸,到完成改良设计,他仅仅只用了十天?!
先不说改良的方案到底行不行,光是这个效率,就让何永感到有些难以置信。
短暂的惊讶过后,何永便把设计图放大,仔细分析起了里面的改变,眉头也逐渐开始皱了起来。
“磁场约束?”
看着包裹着两个电极的麻花状线条,何永总感觉似乎在哪里看过类似的设计结构……
没看出什么名堂的何永,试着根据康驰在整体结构图上的注解,找到了这个麻花状的详细分解图。
然后他顿时就瞪大了眼睛。
他终于知道自己在哪,看过类似的结构了。
这是……
仿星器!
这结构,太像可控核聚变的重要技术路线——仿星器的磁场环了!
开什么玩笑?!
我们这是在造EUV光源,不是搞核聚变的!
就算你把仿星器设计出来了,是凭我们就能造出来的吗?!
何永看到这张图的第一眼,只觉得这太离谱了,
但多看两眼之后,他很快就发现,它虽然像仿星器,但实际上却和仿星器还是有比较大的区别。
仿星器的设计,是个完美的闭环磁场,而这个显然是个开环,结构也相对简单很多。
何永又看了看这张图的技术说明,很快就理解了康驰这套改良方案,具体的原理是什么。
在DPP-EUV方案中,最大的问题,就是在电离锡的时候,会产生大量的锡碎屑,
这些碎屑温度极高,很容易腐蚀、污染电极和设备,
尤其是收集光线的反射镜,
一旦受损,收集光线的效率就会直线降低。
所以康驰就用了一个类似仿星器的磁约束原理,制造一股无形的‘风’,把这些电离过程中产生的锡碎屑,沿着设计好的磁场路线吹出去。
想法是很好,但这可能实现吗?
先不说这个强磁场能不能造出来,就算造出来了,这么强的磁场,会不会对设备的其它部件,造成干扰影响?
而且除了这个磁场清理碎屑的改良点,何永在接下来
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